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GeminiSEM 560 引進了 Gemini 3 型鏡筒，創下了表面成像技術新高度。 Smart Autopilot 這一新型智能自動光路調節引擎是為方便您使用高分辨率成像 技術而特別定制的，即使要對敏感樣品進行超高分辨率的成像也是輕而易舉。 GeminiSEM 560 在任何工作條件下都能達到該系列的最高分辨率，突破了常規 浸沒式表面成像技術的上限。半導體場發射掃描電鏡
