手動(dòng)探針臺(tái)是廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)的綜合經(jīng)濟(jì)型測(cè)試儀器，主要用于半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)檢測(cè)。以往如果需要測(cè)試電子元器件或系統(tǒng)的基本電性能（如電流、電壓、阻抗等）或工作狀態(tài)，測(cè)試人員一般會(huì)采用表筆去點(diǎn)測(cè)。隨著電子技術(shù)的不斷發(fā)展，對(duì)于精密微小（納米級(jí)）的微電子器件，表筆點(diǎn)到被測(cè)位置就顯得無(wú)能為力了。于是一種高精度探針座應(yīng)運(yùn)而生，利用高精度微探針將被測(cè)原件的內(nèi)部訊號(hào)引導(dǎo)出來(lái)，便于其電性測(cè)試設(shè)備（不屬于本機(jī)器）對(duì)此測(cè)試、分析。
首先我們先來(lái)了解什么是探針臺(tái)？
它是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動(dòng)器件，找到需要探測(cè)的位置。接下來(lái)測(cè)試人員通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），精準(zhǔn)扎到被測(cè)點(diǎn)，從而使其訊號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通，通過(guò)測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。
主要功能：
搭配外接測(cè)試測(cè)半導(dǎo)體參數(shù)測(cè)試儀、示波器、網(wǎng)分等測(cè)試源表，量測(cè)半導(dǎo)體器件IVCV脈沖/動(dòng)態(tài)IV等參數(shù)。
探針探測(cè)到的信號(hào)可以通過(guò)探針桿上的電纜傳輸?shù)脚c其連接的測(cè)試機(jī)上，從而得到電性能的參數(shù)。對(duì)于重復(fù)測(cè)試同種器件，多個(gè)點(diǎn)位的推薦使用探針臺(tái)安裝探卡進(jìn)行測(cè)試。
應(yīng)用范圍：
手動(dòng)探針臺(tái)廣泛用于I-V／C-V測(cè)試，脈沖I-V測(cè)試，RF/mmW測(cè)試，高壓、大電流測(cè)試，MEMS、光電器件測(cè)試，晶圓級(jí)失效分析、霍爾測(cè)試等等應(yīng)用方向的測(cè)試測(cè)量。圖形化界面操作系統(tǒng)可方便設(shè)置多種外接電源、多個(gè)IV同時(shí)測(cè)試，數(shù)據(jù)圖表疊加顯示等多種功能，實(shí)現(xiàn)I-V/C-V等測(cè)試。
